含VOCs的氣體從塔底進入塔內，上升過程中與塔***吸附劑逆流接觸，凈化后的氣體從塔***排出。VOCs的吸附劑經過換熱器后進入汽提器***部，在溫度高于吸收溫度或壓力低于吸收壓力的情況下進行脫附。脫附后的吸附劑通過溶劑冷凝器，冷凝回吸收塔。脫附VOCs氣體經過冷凝器和氣液分離器后，以相對的VOCs氣體離開汽提塔進行回收。本工藝適用于VOCs濃度較高、溫度較低的氣體凈化，其他情況下應進行相應的工藝調整。

　　當流體混合物被多孔固體物質處理時，流體的一個或多個組分可能被吸引到表面并集中在其上，這種現象稱為吸附。在廢氣吸附過程中，吸附的對象是氣態污染物，即氣固兩相吸附。吸附氣體組分稱為吸附劑，多孔固體材料稱為吸附劑。

　　將吸附劑吸附在固體表面后，吸附的吸附劑與吸附的吸附劑表面分離。吸附在一段時間內,由于吸附劑表面的濃度,其吸附能力顯著降低,吸附凈化需求,這個時候需要采取某些措施,使吸附劑吸附的吸附劑吸附解吸,為了協助吸附能力,這個過程稱為吸附劑再生。因此，在實際吸附工程中，去除廢氣中的污染物，回收廢氣中有用的成分，是吸附、再生和重復吸附的循環過程。

　　燃燒是有效的治療高Voc和惡臭化合物燃燒這些雜質與多余的空氣，其中***多數產生的二氧化碳和水蒸氣可以到***氣中。而在對含氯和硫的有機化合物進行處理時，燃燒產物中的HCl或SO2在燃燒后還需要進一步處理。

　　等離子體是電離態的氣體。它的英文名字是plasma。等離子體是由***量的粒子、中性原子、激發態原子、光子和基等組成，但電子和正離子的電荷數必須是電中性的，這就是“等離子體”的含義。等離子體在許多方面不同于固體、液體和氣體，它們導電，并受到電磁的影響。等離子體按狀態、溫度和離子密度可分為高溫等離子體和低溫等離子體(bun體和低溫等離子體)。其中，高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子的溫度幾乎相同。該系統處于熱力學平衡狀態，主要用于受控熱核反應的研究。但低溫等離子體是一種非平衡態，各種粒子的溫度是不一樣的。電子溫度(Te)離子溫度(Ti)可達104K以上，其離子和中性粒子的溫度可低至300 ~ 500K。一般氣體放電子屬于低溫等離子體。

　　截至2013年，低溫等離子體作用機理的研究被認為是粒子非彈性碰撞的結果。低溫富含電子、離子、基和激發態，其中高能電子與氣體(原子)碰撞，將能量為基態(原子)的內能。一方面，打開氣體的鍵，得到一些單和固體顆粒;另一個。哦,過氧化氫。在這個過程中，高能電子起著決定性的作用。離子的熱運動只有副作用。在正常壓力下,氣體放電產生的高度非平衡等離子體電子溫度在華氏度),遠高于氣體溫度約100℃(室溫)。非平衡等離子體中可能發生各種化學反應，主要取決于電的平均能量