廢氣處理科普超純水是什么呢？

 

廢氣處理科普超純水超純水，又稱UP水，電阻率達到18MΩ*cm（25℃）的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制造也都要使用超純水。